В России создаётся аналог завода TSMC для создания процессоров

[ak167]

В России готовят производство литографических материалов для выпуска микроэлектроники!

Минпромторг заказал разработку и освоение производства литографических материалов для микроэлектронного производства, в частности, фоторезистов. За эту работу ведомство заплатит 1,1 млрд руб. В числе потребителей этих материалов министерство указывает «Микрон» и «НМ-Тех».

Научно-исследовательская работа
Как выяснил CNews, Министерство промышленности заказало научно-исследовательскую работу «Разработка и освоение производства литографических материалов для микроэлектронного производства». На эти цели из бюджета выделено 1,1 млрд руб., следует из ЕИС «Закупки».

Работе присвоен шифр «Фотолиз». Актуальность ее обусловлена прекращением поставок фоторезистов и антиотражающих покрытий иностранного производства для изготовления интегральных схем при отсутствии российских разработок и производства аналогичных материалов, отмечается в техническом задании.

Потенциальными потребителями материалов в документе указаны АО «Микрон» и ООО «НМ-Тех». Работы должны быть выполнены до 12 декабря 2025 г.

Тендер в формате открытого конкурса был опубликован 14 февраля 2023 г. Заявки принимаются до 3 марта 2023 г. Итоги будут подведены 9 марта.

Какие материалы требуются
В рамках НИР, заказанной Минпромторгом, предполагается создание фоторезистов для использования в процессе фотолитографии с длинной волны актиничного лазерного излучения 248 нм.

В рамках работ предусмотрена разработка и освоение производства фоторезистов, а именно марки ФР248-01, ФР248-02, ФР248-03, ФР248-04, ФР248-05 и двух антиотражающих покрытий, а именно марки ПА248-01 и ПА248-02.

Исполнитель должен проделать не только теоретические и эскпериментальные работы, но и провести испытания опытных партий фоторезистов, а также подготовить и освоить их производство. «В процессе выполнения НИР образцы разработанных материалов должны быть переданы предприятиям и получено заключение по уровню параметров и применяемости», — отмечается в документах.

Использование в процессе выполнения НИР сырья, материалов и оборудования иностранного производства должно быть согласовано с Минпромторгом.

Фоторезисты в России
Фоторезисты представляют собой разновидность светочувствительных полимеров, которые в процессе изготовления микросхем наносятся на кремниевую пластину. Далее производится экспонирование фоторезиста литографической системой через окна фотошаблонов, с последующим «вытравливанием» дорожек на кремниевом кристалле.

В техпроцессах используются лазерные установки с длиной волны 248 нм или 193 нм. В сочетании со специальными фазосдвигающими фотошаблонами и иммерсионной технологией (погружение в жидкость), такие фоторезисты позволяют формировать узлы чипов до 14 нм.

Для работы с фоторезистами необходимо специальное оборудование. Так, в ноябре 2021 г. CNews писал о том, что в России за 5,7 миллиарда создадут фотолитографическое оборудование для печати процессоров. Работы должны быть выполнены до ноября 2026 г.

Грантовая поддержка цифровизации российских компаний будет продолжена
ПОДДЕРЖКА ИТ-ОТРАСЛИ

В апреле 2022 г. стало известно о планах «Микрона» вдвое увеличить объемы выпускаемых кремниевых пластин, чтобы победить дефицит отечественных полупроводников в России. Собеседник «Коммерсанта» тогда отметил, что «Микрон» может столкнуться с нехваткой расходных материалов, в особенности тех, что поставляли компании из отвернувшиеся от России государств. В частности, говорилось о фоторезистах, которые ранее импортировались из стран Европы. А оборудование для дополнительных объемов собирался закупать на вторичном рынке, отмечал источник издания.